สถานที่กำเนิด
Jiangxi, China
ความถี่โดยธรรมชาติ
4-8Hz, vetically; 2-4Hz แนวนอน
ประเภทการปรับระดับ
ออโตแท, คู่มือ
ความสูงของโต๊ะทั้งหมด
800มม.
อัดอากาศ sourc
คอมเพรสเซอร์เงียบ (ระดับเสียง) <50dB
ปรับระดับความถูกต้องอีกครั้ง
± 0.1มม.
พื้นโต๊ะแบน
≤ 0.05มม./ตร. ม.
โผล่ขึ้นมา
≤ 0.8μm พื้นผิวด้าน
วงปรับความสูง isolator
± 10มม.